非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究

来源:互联网 编辑: 张倩 手机版

目录目录摘要……………………………………………………………………………………IAbstract…………………………………………………………………………………………………………III目录……………………………………………………………………………………………………………..V第一章引言…………………………………………………………………………一1 第二章文献综述……………………………………………………………………..5 2.1非晶氧化物半导体………………………………………………………….52.1.1AOS材料基础………………………………………………………..52.1.2AOS薄膜制备技术…………………………………………………一8 2.2薄膜晶体管…………………………………………………………………102.2.1 2,2.2TFT器件基础……………………………………………………….10 TFT器件性能优化………………………………………………….152.2.3 AOS TFT器件应用研究进展………………………………………162.3选题依据和研究内容………………………………………………………19 第三章实验方法与表征方式………………………………………………………..21 3.1溶液燃烧法制备薄膜技术…………………………………………………21 3.1.1溶液燃烧法的制备原理…………………………………………….2l 3.1.2溶液燃烧法的工艺过程……………………………………………22 3.2实验过程……………………………………………………………………23 3.2.1实验试剂和仪器……………………………………………………23 3.2.2衬底清洗……………………………………………………………23 3.2.3溶胶制备……………………………………………………………24 3.3表征方式……………………………………………………………………24 3.3.1溶胶性能的表征方式……………………………………………….24 3.3.2薄膜性能的表征方式………………………………………………25 3.3.3器件性能的表征方式………………………………………………25 第四章非晶ZnTiSnO薄膜的制备及性能研究……………………………………27 4.1引言…………………………………………………………………………274.2ZT

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