衬底温度对MgxZn1-xO晶体薄膜表面形貌的影响

来源:互联网 编辑:李元芳 手机版

维普资讯 http://www.cqvip.com

因转码可能存在排版等问题,敬请谅解!以下文字仅供您参考:

维普资讯 http://www.cqvip.com 第2 4卷第 2 期  20 0 7年 4月  华 东 交 通 大 学 学 报  V . 4 No.     2  2 J un l f a tC ia J oo gUnv ri   o r a    s hn   i tn   i s y oE   a e t Ap , 0   r. 2 07 文 章 编 号 :0 5— 5 3 2 0 ) 0 5 0   10 0 2 一(0 7 0 2— 14— 4 衬 底 温 度对 MgZ 1 x xn一O晶体 薄膜 表 面 形 貌 的影 响  余  萍  ( 东交 通 大 学 基 础 科 学 学 院 物 理 系 江 西 南 昌 30 1) 华 303  摘要 : 采用低 温物理 沉积技术在二氧化硅衬底 (i2s(O ) s / i1O 生长 出了Mg n.0晶体薄膜 . 0 I1 Z   用原子 力显微镜 ( F 测得不 同衬  A M) 底温度 下晶体薄膜的表 面平整性 , 根据测得的数 据资料 分析衬底 温度对 薄膜表 面粗糙度的 影响, 发现在 2O℃时生长得到 的 5   Mg Z l t :n 一   O薄膜具有最好的平整性 , 这也 和以前生长的 Mg n-o薄膜 分析结果一致 . , l: Z t   词 : 温物 理 沉积 ;

 ̄n一0 晶体 薄 膜 ;

面形 貌  低 Mg l Z   表 文 献 标 识 码 :  A 关  键 中 圈分 类 号 : 44 1 o 8.   1 引 言  M xn.O三 元合 金是 由 ZO和 M o按一 定组  gZ 1   n g 分 固溶 而 成 的 , 有 两 种 不 同 的 晶体 结 构 : Z O 它 与 n  一 报 道 , 文 利用 低 温 物 理 沉 积 技 术 在 S 2S (0 ) 本 i / i 10  O 衬底 上生 长 了 M  ̄n一0晶体 薄 膜 , 析 了温 度对  gZl  分 MgZ l xn 一   0晶体薄 膜 的表 面形 貌 的影 响 .   致 的六方纤 锌 矿 结 构 和 与 M o一致 的立 方 N C  g aI 2 实 验 方 法    我们 采 用 低 温 物 理 沉 积 技 术 ( E E) 别 在  RB 分 SO/ i10 衬底上生 长 了 Mg n 一0合 金 薄膜 , i2S(0 )   l  Z 该  生 长技术 已在 文献 L 中进 行 了具 体介 绍 . 同之处  6 J 不 在 于对 衬底 的清 洁 处理 , 底 在 生 长 之 前 都先 用 去  衬 离 子水 超声 清 洗 三 次 , 后 将 SO / i10 在 去 离  然 i2 S(0 ) 子水 中水 浴 1 钟 , i2S(0 ) 以直 接 水 浴 是  0分 SO/ i10 可 结构 . 在 19 早 98年 , h m 小 组 首 先 报 导 了在 白宝  Ot o o 石 衬底上用 脉 冲激光 沉积 ( L ) 激光 一分 子束 外  PD 和 延( L—M E 生长 了六 方 的 M Z O晶体 薄 膜 … , B) gn 后  来 在 20 02年 C op n研究 小 组 和 N myn研 究 小 组  hou a a 差不 多同时 在 白宝 石 和 Mg o衬 底上 用 P D方 法 生  L 长 了立 方 的 MgZ l   n 一0晶体 薄膜 [3, 20 2 ]在 0 3年 , , 吴  惠桢小组 在 S( 1 ) i 11 衬底 上 低 温生 长 了宽 禁 带 立 方  Mg Z 1 xn .   O 晶 体 薄 膜 l . 论 是 六 方 还 是 立 方  4 无 J 因为 s 在 高 温 氧化 前 已经过 有 机 溶 剂 清 洗和 沸 腾  i 的硫 酸溶 液腐蚀 , 就 使得 由表 面高 温 氧 化得 到 的  这 SO 层很 干 净 . 源 材 料 采 用 Mg. n 9 i2 靶 o Z o O陶 瓷 片 , 1   . M  ̄n .O与 Z O Mg gZ 1   n 、 O相 比有 一 些 新 的物 理 特 性 .   例 如 , 方 的 M n一 六 鼠z 1  O 晶 格 常 数 非 常 接 近  Z O[,] n 12 , 禁 带宽 度 比 Z O大 , n 而且 可调 , 可用 来 制作  它 由 M o和 Z O粉末 ( g n 纯度 都为 9 .9 按一定 质  9 9 %) 真空紫外 探 测器 、 光器 件 和 Z O MgZ 1  发 n /  ̄n一 O多 量  量 比混合 、 压制 、 结 而成 . 品生 长 时 的 衬底 温 度  烧 样 分别 在 2 0 30 4 0 5 0℃ , 长 时间 都 为 1小 时 . 5 、0 、0 、0 生   子阱结构 等 . 有 的研 究 表 明立 方 相 MgZl  已 xn一0和  M o晶格失 配非 常小 L , g 4 禁带 宽度 可 以通 过 改变 M   ] g 的组分 在 5 0—6 7e . . V范 围内 改变 L5, 在 40 2  且 . J 0  9 0 m波 长范 围 内光 吸 收很 小 L . 迄 今 为 止 关 于  0n 5但   J 用 Z—A M—I型 原 子力 显 微 镜 ( F 测 得 薄膜 的  F / A M) 表 面形貌 , 分析 不 同衬 底 温度下 薄膜 的表 面平整 性 ,   研 究温度 对表 面形貌 的影 响 .   衬底 温度对 MgZ ,   ̄n一 O表面形 貌 的影响很 少 有具 体  收 稿 日期 :07—0 —1  20 1 8 基 金 项 目 : 东 交 通 大 学 校立 科 研 基 金 资 助 项 目 ( o0Z J0 ) 华 N .6 KC 5  作者简介 : 余萍(98 , , 17 一)

温度对膜的影响_图文.doc

温度对膜的影响 - 沉底温度对膜的影响 一、 对膜结构的影响 (AZO 透明导电薄膜的制备[J],电子元件与材料,山西科技大学,2012,) 衬底温度对薄膜结晶性能的影响......[本文更多相关]

ITO_图文.doc

探针测试仪对所制备的 ITO 薄膜的透过率、晶体结构、表面形貌和电阻率(方块电 ...不同衬底温度(100℃ 200℃ 300℃)对薄 膜光电性能的影响,并对 ITO 薄膜的......[本文更多相关]

光敏电阻的制备及性能测试_图文.doc

ZnO 衬底 上生长宽带隙的 MgxZn1-xO 合金薄膜。 ...族的二元化合物半导体的晶体结构有立方闪锌矿结构和六...照和温度对 ZnO 单晶的电阻的影响,发现在低温下......[本文更多相关]

沉积法制备的薄膜的性能影响因素研究.doc

影响薄膜 材料性能的因素很多,例如衬底温度、蒸发温度、衬底材料等等,而对于不同...ZrW208薄膜,并研究 靶材性能和退火温度、基片对薄膜的相组成、表面形貌的影响。......[本文更多相关]

薄膜物理与技术 考试重点.doc

上延续生长单晶薄膜)条件:较高的衬底温度和较低的...(d)有具体数字 SEM XPS XRD HRTEM 表面形貌分析 ...表示石英晶体密度,A 表示石英晶片厚度面积 当石英......[本文更多相关]

薄膜物理_图文.doc

适当温度的单晶基片上, 同时控制分子束对衬底扫描,...外延层表面形貌、组分等各种信息,便于进行生长过程 ...说明提高生长温度有助于提高 A1N 薄膜的晶体质量,......[本文更多相关]

CZT纳米薄膜的结构与表面形貌(定稿)-2.doc

CdZnTe薄膜的结构与表面形貌CdZnTe薄膜的结构与表面形貌...射线衍射仪对 CdZnTe 薄膜的晶体结构进行了分析,射线...从图 1 可以看出,当 ITO 衬底温度为室温时, 真空......[本文更多相关]

热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响.doc

热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响 热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响 摘要:采用溶胶凝胶法在 ITO/glass 衬底上制备出纯相 BiFeO3 薄膜。 ......[本文更多相关]

ZnO薄膜材料制备技术及其应用领域研究.doc

实现原子层状生长,也可以用来制备 ZnO/CdxZn1-xO 和 ZnO/MgxZn1-xO 多层...PLD 法生长 ZnO 薄膜的衬底温度相当高, 这有利于 ZnO 的晶体生长, 但对界面......[本文更多相关]

PbO薄膜调研报告.doc

测定薄膜的厚度,a,b分别表示薄膜表面和薄膜与 衬底的界面, d表示薄膜的厚度, ...2.3.衬底温度对PbO PbO薄膜晶体结构的影响 2.3.衬底温度对PbO薄膜晶体结构的......[本文更多相关]

...氧分压对IWO薄膜表面形貌及光电性能的影响_图文.doc

北京航空航天大学-氧分压对IWO薄膜表面形貌及光电性能的影响 - 氧分压对 IWO 薄膜表面形貌及光电性能的影响 张远鹏 (北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京......[本文更多相关]

热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响.doc

热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响 - 热处理工艺对铁酸铋薄膜结构和表面形貌的影响 摘要: 采用溶胶凝胶法在 ITO/glass 衬底上制备出纯相 BiFeO3 薄膜......[本文更多相关]

AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展.doc

分压、衬底温度对薄膜结构、光电特性有重要的影响。...浓度和溶剂类型对薄膜结构、形貌及光电特性 的影响。...中提到用透明导电膜做前电极的一种新结构的晶体硅......[本文更多相关]

薄膜材料结课作业.doc

时衬底温度的升高,TiO2 薄膜空隙率减少、表面致密...通 过对射频功率密度的调节,可以改变薄膜的形貌。相...沉积得到的薄膜均为锐钛 矿晶体结构的 TiO2, 掺杂......[本文更多相关]

磁控溅射技术研究进展.doc

研究衬底 温度对 MgO 薄膜的影响, 以及 Ar/O2 ...出良好层间界面的晶体/非晶体纳米多层结构,与其他...对 TiAlN 薄膜的物相断口组织形貌以及氧化增重结果进行......[本文更多相关]

薄膜物理与技术要点总结.doc

的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响...称重法(微量天平法 石英晶体振荡法 ) 膜厚的定义?...引起基片温度升高,薄膜表面粗糙,质量差;工艺参数难......[本文更多相关]

纳米材料的制备方法.doc

8~20 nm CdSe 纳米晶体,试验过程中通过选择合适的...衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;工艺参数任意调节,对...种类对粉末的粒径和形貌有很大的影响,同时还影响......[本文更多相关]

TiN薄膜在建筑玻璃节能上的应用分析_图文.doc

对 5 个溅射功率 4Kw、 衬底温度为 400℃、 ...谱的结果与3.5 %NaCl浸泡过的TiN薄膜表面形貌状况的...镀层界面结合力的影响 [A]1000-3738-(2001)01-......[本文更多相关]

薄膜物理与技术基本概念常识大全.doc

B T 3. 蒸发速率、温度变化对其影响? 蒸发速率、...溅射薄膜与衬底的附着性好; 溅射薄膜与衬底的附着性...结果晶体表面的 原子从近邻原子得到越来越多的能量。......[本文更多相关]

薄膜物理与技术要点总结.doc

晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂 扩散影响...称重法 (微量天平法 石英晶体振荡法 ) 电学方法 (...特点:轰击离子能量大,引起基片温度升高,薄膜表面粗糙......[本文更多相关]

论文CIGS薄膜太阳能电池缓冲层的研究及发展.txt

较少, 而且大部分都集中在蒸 发温度、 衬底温度和沉积温度对薄膜性能的影响上...4 3 ~ 10.09 间变化, 研究了薄膜的表面 形貌、 晶体结构、能隙等特征。......[本文更多相关]

[衬底温度对MgxZn1-xO晶体薄膜表面形貌的影响]相关文章:

  • 衬底温度对电子束反应蒸发生长的ZnxCo1-xO薄
  • 衬底温度对电子束反应蒸发生长的ZnxCo1-xO薄
  • 衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响
  • 衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响
  • 衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响
  • 衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响
  • 立方相MgxZn1-xO纳米晶体薄膜的物理特性
  • 立方相MgxZn1-xO纳米晶体薄膜的物理特性
  • 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛
  • 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛
  • 在Sr 2+:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄
  • 在Sr 2+:α-BBO单晶衬底上生长β-BBO薄
  • 衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的
  • 衬底温度对In_xGa_(1-x)N薄膜结构特性的
  • 衬底温度和氮气分压对氮化锌薄膜的性能影响
  • 衬底温度和氮气分压对氮化锌薄膜的性能影响
  • 衬底温度对MgxZn1-xO晶体薄膜表面形貌的影响相关搜索
    最新推荐
    热门推荐
    <上页热点Q热点106 114下页下页社会娱乐体育军事汽车财经科技育儿历史美食数码时尚宠物收藏家居心理文化三农健康科学游戏动漫教育职场旅游电影国际 知识100106 114 52 107 115 55 120 57 100z48 100z100 100z106 100z114 100z52 100z107 100z115 100z55 100z120 100z57 106z48 106z100 106z106 106z114 106z52 106z107 106z115 106z55 106z120 106z57 114z48 114z100 114z106 114z114 114z52 114z107 114z115 114z55 114z120 114z57 52z48 52z100 52z106 52z114 52z52 52z107 52z115 52z55 52z120 52z57 107z48 107z100 107z106 107z114 107z52 107z107 107z115 107z55 107z120 107z57 115z48 115z100 115z106 115z114 115z52 115z107 115z115 115z55 115z120 115z57 55z48 55z100 55z106 55z114 55z52 55z107 55z115 55z55 55z120 55z57 120z48 120z100 120z106 120z114 120z52 120z107 120z115 120z55 120z120 120z57 57z48 57z100 57z106 57z114 57z52 57z107 57z115suiji 106 114 52 107 115 55 120 57 100g48 100g100 100g106 100g114 100g52 100g107 100g115 100g55 100g120 100g57 106g48 106g100 106g106 106g114 106g52 106g107 106g115 106g55 106g120 106g57 114g48 114g100 114g106 114g114 114g52 114g107 114g115 114g55 114g120 114g57 52g48 52g100 52g106 52g114 52g52 52g107 52g115 52g55 52g120 52g57 107g48 107g100 107g106 107g114 107g52 107g107 107g115 107g55 107g120 107g57 115g48 115g100 115g106 115g114 115g52 115g107 115g115 115g55 115g120 115g57 55g48 55g100 55g106 55g114 55g52 55g107 55g115 55g55 55g120 55g57 120g48 120g100 120g106 120g114 120g52 120g107 120g115 120g55 120g120 120g57 57g48 57g100 57g106 57g114 57g52 57g107 57g115 57g55 57g120 57g57 100g48g48 100g48g100... 1000000new106 new114 new52 new107 new115 new55 new120 new57 new100g48 new100g100 new100g106 new100g114 new100g52 new100g107 new100g115 new100g55 new100g120 new100g57 new106g48 new106g100 new106g106 new106g114 new106g52 new106g107 new106g115 new106g55 new106g120 new106g57 new114g48 new114g100 new114g106 new114g114 new114g52 new114g107 new114g115 new114g55 new114g120 new114g57 new52g48 new52g100 new52g106 new52g114 new52g52 new52g107 new52g115 new52g55 new52g120 new52g57 new107g48 new107g100 new107g106 new107g114 new107g52 new107g107 new107g115 new107g55 new107g120 new107g57 new115g48 new115g100 new115g106 new115g114 new115g52 new115g107 new115g115 new115g55 new115g120 new115g57 new55g48 new55g100 new55g106 new55g114 new55g52 new55g107 new55g115 new55g55 new55g120 new55g57 new120g48 new120g100 new120g106 new120g114 new120g52 new120g107 new120g115 new120g55 new120g120 new120g57 new57g48 new57g100 new57g106 new57g114 new57g52 new57g107 new57g115 new57g55 new57g120 new57g57 new100g48g48 new100g48g100 下页>... new100g48g48g48g48g48g48g48top106 top114 top52 top107 top115 top55 top120 top57 top100g48 top100g100 top100g106 top100g114 top100g52 top100g107 top100g115 top100g55 top100g120 top100g57 top106g48 top106g100 top106g106 top106g114 top106g52 top106g107 top106g115 top106g55 top106g120 top106g57 top114g48 top114g100 top114g106 top114g114 top114g52 top114g107 top114g115 top114g55 top114g120 top114g57 top52g48 top52g100 top52g106 top52g114 top52g52 top52g107 top52g115 top52g55 top52g120 top52g57 top107g48 top107g100 top107g106 top107g114 top107g52 top107g107 top107g115 top107g55 top107g120 top107g57 top115g48 top115g100 top115g106 top115g114 top115g52 top115g107 top115g115 top115g55 top115g120 top115g57 top55g48 top55g100 top55g106 top55g114 top55g52 top55g107 top55g115 top55g55 top55g120 top55g57 top120g48 top120g100 top120g106 top120g114 top120g52 top120g107 top120g115 top120g55 top120g120 top120g57 top57g48 top57g100 top57g106 top57g114 top57g52 top57g107 top57g115 top57g55 top57g120 top57g57 top100g48g48 top100g48g100幼儿教育小学教育初中教育高中教育高等教育教学研究外语学习资格考试/认证成人教育职业教育IT/计算机经管营销医药卫生自然科学农林牧渔人文社科工程科技PPT模板PPT制作技巧求职/职场计划/解决方案总结/汇报党团工作工作范文表格/模板法律文书饮食游戏体育/运动音乐旅游购物娱乐时尚美容化妆家具家电社会民生影视/动漫保健养生随笔摄影摄像幽默滑稽人文社科法律资料军事/政治广告/传媒设计/艺术教育学/心理学社会学文化/宗教哲学/历史文学研究经管营销人力资源管理财务管理生产/经营管理企业管理公共/行政管理销售/营销金融/投资经济/市场工程科技信息与通信电子/电路建筑/土木城乡/园林规划环境/食品科学电力/水利交通运输能源/化工机械/仪表冶金/矿山/地质纺织/轻工业材料科学兵器/核科学IT/计算机互联网电脑基础知识软件及应用硬件及网络自然科学数学物理化学生物学天文/地理医药卫生临床医学基础医学预防医学中医中药药学农林牧渔农学林学畜牧兽医水产渔业求职/职场简历封面/模板求职/面试职业规划自我管理与提升计划/解决方案学习计划工作计划解决方案商业计划营销/活动策划总结/汇报学习总结实习总结工作总结/汇报党团工作入党/转正申请思想汇报/心得体会党团建设工作范文制度/规范演讲/主持行政公文表格/模板合同协议书信模板 表格类模板饮食游戏体育/运动音乐旅游购物娱乐时尚美容化妆影视/动漫保健养生随笔幽默滑稽幼儿教育幼儿读物少儿英语唐诗宋词育儿理论经验育儿知识家庭教育小学教育小升初学科竞赛其它课程 初中教育中考科学学科竞赛其它课程高中教育学科竞赛其它课程职业教育中职中专职高对口职业技术培训 其他成人教育成人考试电大自考专升本远程、网络教育高等教育理学工学经济学管理学文学哲学历史学法学教育学农业医学军事艺术研究生入学考试院校资料其它